公司旗下微装公司是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业,也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业。
在先进封装光刻机等领域,其国内市场占有率超过80%,全球市场占有率为40%。
长春光机所,其研制国内第一套EUV光刻原理装置,实现了EUV光刻的原理性贯通。2008年国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项将EUV光刻技术列为“32-22nm装备技术前瞻性研究”重要攻关任务。
北方华创、中微公司、芯源微、拓荆科技等国产设备厂商在技术、产品上的不断突破,国产化率有望持续提升。
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